四川博瑞華芯科技有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)CNBHC)主要致力于為超精密機(jī)床、自由曲面掩膜直寫(xiě)、光刻直寫(xiě)、晶圓影切、晶圓缺陷檢測(cè)、超快晶圓顯微成像、微納制造、高精度封裝測(cè)試、計(jì)量檢測(cè)等領(lǐng)域提供超精密運(yùn)動(dòng)控制核心子系統(tǒng)。
■ CNBHC以區(qū)別于競(jìng)品的極致性能，持續(xù)為先進(jìn)裝備產(chǎn)業(yè)提供核心組件和系統(tǒng)解決方案
■ CNBHC始終堅(jiān)持GB17421、ISO230-2、VDI3441等國(guó)際通用檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，力求為客戶(hù)提供持續(xù)、穩(wěn)定、高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)
■ CNBHC始終秉承“追求卓越品質(zhì)、締造民族品牌”為己任，堅(jiān)持基礎(chǔ)研究，傳承工匠精神，為中國(guó)制造的榮譽(yù)而砥礪前行
工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)
完善的產(chǎn)品體系
應(yīng)用解決方案
高端裝備產(chǎn)業(yè)
RUG_LG系列高精度萬(wàn)向系統(tǒng)，擁有較低的輪廓高度。采用具有極低滑動(dòng)摩擦系數(shù)的角接觸軸系，可以提供精確的角度定位、極低的速度波動(dòng)和高動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能，可快速開(kāi)發(fā)并完成各種系統(tǒng)集成。為光學(xué)引導(dǎo)、激光對(duì)抗、天線(xiàn)、高精度快反鏡和傳感器測(cè)試提供高速精確的角度指向定位。典型應(yīng)用包括導(dǎo)彈導(dǎo)引頭測(cè)試與校準(zhǔn)、光電傳感器前視紅外探測(cè)、陀螺儀等慣性傳感器角度測(cè)試、MEMS加速度計(jì)、吊艙應(yīng)用等。RUG_LG高精度萬(wàn)向系統(tǒng)，是CNBHC采用最新精密轉(zhuǎn)臺(tái)工藝技術(shù)而設(shè)計(jì)改良的高動(dòng)態(tài)360°角度對(duì)位系統(tǒng)?？筛鶕?jù)需求進(jìn)行特殊定制開(kāi)發(fā)，包括高低溫、真空環(huán)境等特殊領(lǐng)域應(yīng)用。
■低重心設(shè)計(jì)
RUG精密萬(wàn)向系統(tǒng)集成了MDRT和MDRS系列產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)，RUG精密萬(wàn)向系統(tǒng)的速度和加速能力明顯高于其他競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品。與給定扭矩范圍內(nèi)的競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，RUG系列精密萬(wàn)向系統(tǒng)擁有更低的尺寸高度和出色的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能。當(dāng)只需要有限角度旋轉(zhuǎn)時(shí)，可通過(guò)取消高精度導(dǎo)電滑環(huán)從而進(jìn)一步降低整體高度。較低的光路有助于提供整體測(cè)試的準(zhǔn)確性(較低的阿貝臂)，基于精密角接觸軸系基礎(chǔ)工藝，RUG提供了高精度、高動(dòng)態(tài)、平滑運(yùn)動(dòng)的解決方案，低成本和低維護(hù)特性，使其可以長(zhǎng)時(shí)間保持高可靠性和穩(wěn)定性。
■卓越的定位能力
RUG精密萬(wàn)向系統(tǒng)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■出色的控制分辨率
RUG高精度萬(wàn)向系統(tǒng)采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差，分辨率可達(dá)0.001″。超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美。低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■優(yōu)異的滑動(dòng)摩擦特性
AC_MRS精密回轉(zhuǎn)工作臺(tái)集成了CNCHC自主研發(fā)的MDRT和MDRS系列產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)，AC系列精密回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的速度和加速能力明顯高于其他競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品。與給定扭矩范圍內(nèi)的競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，AC_MRS系列精密回轉(zhuǎn)工作臺(tái)擁有更低的尺寸高度。
■卓越的定位能力
AC_MRS 系列精密回轉(zhuǎn)工作臺(tái)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■出色的控制分辨率
采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差。該精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)分辨率可達(dá)0.001″。超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美。低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■出色的運(yùn)動(dòng)軸擺
A軸采用兩個(gè)大直徑角接觸軸承，獨(dú)特的大跨距設(shè)計(jì)極大地減小了運(yùn)動(dòng)軸擺，提高了系統(tǒng)剛度和重復(fù)性。同時(shí)大直徑軸承能夠承受更大的有效載荷，而不會(huì)影響性能。
■A軸高精度在線(xiàn)檢測(cè)
AC_MRS可以通過(guò)A軸后端進(jìn)行在線(xiàn)高精度檢測(cè)和誤差修正。即使由于負(fù)載和阿貝臂的引入也能實(shí)現(xiàn)高精度在線(xiàn)檢測(cè)?？梢詷O大的提高設(shè)備的工作效率。經(jīng)誤差校準(zhǔn)后，可以獲得≤1.5arc sec(ISO230-2)的定位精度。
Planar DL-XY 集成一體式XY亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)，在低組高的緊湊幾何空間內(nèi)提供了大尺寸的通光孔徑，并具備高動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力。尤其適合于雙面LED晶圓缺陷檢測(cè)、高動(dòng)態(tài)性能下進(jìn)行準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)計(jì)量檢測(cè)以及需要極高運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度和運(yùn)動(dòng)平面度的應(yīng)用場(chǎng)合。該系列產(chǎn)品具有多個(gè)規(guī)格以及精度等級(jí)可選，最高可實(shí)現(xiàn)＜150nm(ISO230-2)雙向重復(fù)定位性能。
■出色的空間幾何精度
Planar DL-XY集成一體式亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)提供了極其出色的平面幾何性能。其具備優(yōu)于±0.5μm的運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度和優(yōu)于±1.25μm的空間運(yùn)動(dòng)平面度。高精度寬幅式滾動(dòng)摩擦軸系為平臺(tái)提供了出色的支撐剛性，低重心設(shè)計(jì)更加有利于提升結(jié)構(gòu)剛性。非接觸式雙邊同步驅(qū)動(dòng)消除了因大通光孔徑設(shè)計(jì)從而導(dǎo)致的機(jī)械扭曲變形，使平臺(tái)軸運(yùn)動(dòng)中心驅(qū)動(dòng)剛度在全行程范圍內(nèi)保持一致，從而實(shí)現(xiàn)終端負(fù)載出色的運(yùn)動(dòng)平面度性能。
■超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI95XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±200nm或者更好。
Planar DL-XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
Planar DL-XY 二維平面亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。
Planar DL-150XY和Planar DL-250XY,每個(gè)軸均配置為兩個(gè)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)且具有高伺服控制帶寬，所產(chǎn)生的推力和摩擦力均保持在平臺(tái)的幾何中心，這樣的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了平臺(tái)出色的機(jī)械幾何精度與動(dòng)態(tài)性能的有機(jī)結(jié)合。
■集成線(xiàn)纜管理
Planar DL-XY二維平臺(tái)擁有專(zhuān)為長(zhǎng)壽命和性能優(yōu)化而設(shè)計(jì)的電纜管理系統(tǒng)，可以非常方便的與其他平臺(tái)進(jìn)行組合使用。特殊的線(xiàn)纜管理方案可以提供額外的真空氣路走線(xiàn)。
Planar DS-XY系列是一款緊湊型、低組高，同時(shí)具有優(yōu)良幾何機(jī)械精度、高動(dòng)態(tài)性能的集成一體式XY平面運(yùn)動(dòng)納米定位平臺(tái)。該平臺(tái)具有納米級(jí)的雙向重復(fù)定位性能。可以廣泛應(yīng)用于表面輪廓測(cè)量和晶圓切割、光刻直寫(xiě)、激光微納加工等高端應(yīng)用領(lǐng)域。
■ 超高的空間幾何精度
Planar DS-XY二維直驅(qū)平臺(tái)的直線(xiàn)度、正交誤差等關(guān)鍵指標(biāo)具有多種規(guī)格可選同時(shí)對(duì)結(jié)構(gòu)剛性進(jìn)行了特殊的優(yōu)化以滿(mǎn)足苛刻的高動(dòng)態(tài)響應(yīng)要求，加速度最大可以達(dá)到1.5g，速度最快可達(dá)750mm/s。這使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力。該產(chǎn)品運(yùn)行平滑，速度波動(dòng)小，尤其適合于掃描應(yīng)用
■ 超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI95XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±200nm或者更好。
Planar DS-XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
Planar DS-XY二維平臺(tái)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。
Planar DS-200XY和Planar DS-300XY,每個(gè)軸均可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)或者兩個(gè)電機(jī)的配置，從而為各種不同負(fù)載的使用提供了更多的選擇。無(wú)論是單電機(jī)還是雙電機(jī)，其所產(chǎn)生的推力和摩擦力均保持在平臺(tái)的幾何中心，這樣的設(shè)計(jì)保證了平臺(tái)的性能。
■ 集成線(xiàn)纜管理
Planar DS-XY二維平臺(tái)擁有專(zhuān)為長(zhǎng)壽命和性能優(yōu)化而設(shè)計(jì)的電纜管理系統(tǒng)，可以非?？焖俚呐c其他平臺(tái)進(jìn)行組合使用。特殊的線(xiàn)纜管理方案還可以提供額外的氣路走線(xiàn)，同時(shí)不影響平臺(tái)的性能。
■ 出色的防護(hù)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的外部結(jié)構(gòu)具有防止碎屑、灰塵進(jìn)入的功能。防護(hù)罩采用V0級(jí)阻燃材料制作而成，使其能夠在較為惡劣的工作環(huán)境下正常工作。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件均經(jīng)過(guò)有限元仿真分析及優(yōu)化并CNC一體加工成型，具有極高的穩(wěn)定性和可靠性。
■ 超精密設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列經(jīng)濟(jì)型線(xiàn)性位移臺(tái)，根據(jù)需要可直接將反饋系統(tǒng)耦合在工作臺(tái)面上，配合精密研磨滾珠絲杠和高精度滾動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，使ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有優(yōu)異的定位精度、重復(fù)性表現(xiàn)和優(yōu)于50nm的機(jī)械分辨率。
■ 靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有標(biāo)準(zhǔn)化的通用安裝方式，便于系統(tǒng)集成。可以輕松組合兩個(gè)、三個(gè)或更多軸，以實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品也可用于Z向驅(qū)動(dòng)，根據(jù)需要可以通過(guò)增加制動(dòng)器實(shí)現(xiàn)斷電自鎖防護(hù)。
■ 經(jīng)濟(jì)型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
與CNBHC其他高性能產(chǎn)品相比，ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品在保證其核心部件性能以及高重復(fù)性的同時(shí)，兼具高動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力。通過(guò)降低加工制造成本，為客戶(hù)提供了極具性?xún)r(jià)比的低成本解決方案。
■出色的防護(hù)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的外部結(jié)構(gòu)具有防止碎屑、灰塵進(jìn)入的功能。防護(hù)罩采用V0級(jí)阻燃材料制作而成，使其能夠在較為惡劣的工作環(huán)境下正常工作。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件均經(jīng)過(guò)有限元仿真分析及優(yōu)化并CNC一體加工成型，具有極高的穩(wěn)定性和可靠性。
■超精密設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列經(jīng)濟(jì)型線(xiàn)性位移臺(tái)，根據(jù)需要可直接將反饋系統(tǒng)耦合在工作臺(tái)面上，配合精密研磨滾珠絲杠和高精度滾動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，使ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有優(yōu)異的定位精度、重復(fù)性表現(xiàn)和優(yōu)于50nm的機(jī)械分辨率。
■靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有標(biāo)準(zhǔn)化的通用安裝方式，便于系統(tǒng)集成。可以輕松組合兩個(gè)、三個(gè)或更多軸，以實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品也可用于Z向驅(qū)動(dòng)，根據(jù)需要可以通過(guò)增加制動(dòng)器實(shí)現(xiàn)斷電自鎖防護(hù)。
■經(jīng)濟(jì)型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
與CNBHC其他高性能產(chǎn)品相比，ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品在保證其核心部件性能以及高重復(fù)性的同時(shí)，兼具高動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力。通過(guò)降低加工制造成本，為客戶(hù)提供了極具性?xún)r(jià)比的低成本解決方案。
■出色的防護(hù)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的外部結(jié)構(gòu)具有防止碎屑、灰塵進(jìn)入的功能。防護(hù)罩采用V0級(jí)阻燃材料制作而成，使其能夠在較為惡劣的工作環(huán)境下正常工作。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件均經(jīng)過(guò)有限元仿真分析及優(yōu)化并CNC一體加工成型，具有極高的穩(wěn)定性和可靠性。
■超精密設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列經(jīng)濟(jì)型線(xiàn)性位移臺(tái)，根據(jù)需要可直接將反饋系統(tǒng)耦合在工作臺(tái)面上，配合精密研磨滾珠絲杠和高精度滾動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，使ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有優(yōu)異的定位精度、重復(fù)性表現(xiàn)和優(yōu)于50nm的機(jī)械分辨率。
■靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品具有標(biāo)準(zhǔn)化的通用安裝方式，便于系統(tǒng)集成?？梢暂p松組合兩個(gè)、三個(gè)或更多軸，以實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品也可用于Z向驅(qū)動(dòng)，根據(jù)需要可以通過(guò)增加制動(dòng)器實(shí)現(xiàn)斷電自鎖防護(hù)。
■經(jīng)濟(jì)型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
與CNBHC其他高性能產(chǎn)品相比，ECO_SL/SLE系列產(chǎn)品在保證其核心部件性能以及高重復(fù)性的同時(shí)，兼具高動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力。通過(guò)降低加工制造成本，為客戶(hù)提供了極具性?xún)r(jià)比的低成本解決方案。
■出色的機(jī)械剛性
SWI115SL/SLE亞微米線(xiàn)性定位平臺(tái)是高剛性、高精度、亞微米重復(fù)性的精密線(xiàn)性定位平臺(tái)，行程從50mm~200mm。整體材質(zhì)采用7075-T6航空鋁合金，經(jīng)有限元分析優(yōu)化并一體加工成型，有效避免因鋁制基座和導(dǎo)軌的熱膨脹系數(shù)不同所導(dǎo)致的彎曲效應(yīng)。
■優(yōu)化的側(cè)密封結(jié)構(gòu)
SWI115SL/SLE亞微米線(xiàn)性定位平臺(tái)采用經(jīng)第四代優(yōu)化的側(cè)密封結(jié)構(gòu)?？梢杂行Х乐诡w粒粉塵與加工碎屑的進(jìn)入，從而避免因粉塵而引起傳動(dòng)系統(tǒng)摩擦加大，確保傳動(dòng)系統(tǒng)能夠長(zhǎng)期可靠的維持高性能?？蛇x的正壓空氣除塵系統(tǒng)進(jìn)一步提升了設(shè)備的防護(hù)能力和長(zhǎng)期可靠性。
■出色的定位能力
SWI115SL/SLE能夠提供快速平滑的運(yùn)動(dòng)，具有響應(yīng)快、穩(wěn)態(tài)時(shí)間短、定位精確的特點(diǎn)，非預(yù)拉升裝配工藝，保證了絲桿長(zhǎng)期的可靠性。具有低重心、高剛性、導(dǎo)向精確、運(yùn)動(dòng)平滑、低速爬升小等特點(diǎn)，運(yùn)動(dòng)能力出色，極佳的負(fù)載能力和非常低的噪音。
■良好的系統(tǒng)集成靈活性
SWI115SL/SLE 系列產(chǎn)品具有完善的單軸/多軸管理方案，且與CNBHC其他系列產(chǎn)品具有良好的兼容性，使設(shè)計(jì)具有充分的靈活裕度，可以快速進(jìn)行系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，極大的減少設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)工作量，提升工作效率。
■靈活的設(shè)計(jì)
SWI115SL/SLE設(shè)計(jì)靈活，具有很多標(biāo)準(zhǔn)功能選項(xiàng)和附件選項(xiàng)。該產(chǎn)品設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)搭載Servotronix伺服電機(jī)或Oriental- Motor(東方電機(jī))五相步進(jìn)電機(jī)。對(duì)于高精度的應(yīng)用，推薦使用五相步進(jìn)電機(jī)以獲得更好的位置定位能力和定位穩(wěn)定性。
REI95XY采用集成式一體化、低組高設(shè)計(jì)，擁有超過(guò)50mm的行程，平臺(tái)總高僅75mm。具有完整的硬限位和軟限位保護(hù)，綜合線(xiàn)纜管理系統(tǒng)和四種不同精度等級(jí)規(guī)格。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
REI95XY納米定位平臺(tái)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。特別適合于光纖耦合制造、傳感器測(cè)試與掃描、顯微鏡應(yīng)用等各種需要平穩(wěn)、快速定位和精確的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合。
■ 極致的空間幾何精度
REI95XY允許對(duì)諸如正交誤差、直線(xiàn)度、平面度等關(guān)鍵指標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化，從而實(shí)現(xiàn)用戶(hù)特殊指定允許的公差范圍。該產(chǎn)品沒(méi)有背隙且近乎零系統(tǒng)遲滯性，在整個(gè)二維空間運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)均可以保證精確定位和高重復(fù)性的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)性能。
■ 超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI95XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±150nm或者更好。
REI95XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■ 多軸應(yīng)用
REI95XY可以結(jié)合其他的平臺(tái)產(chǎn)品快速創(chuàng)造出獨(dú)特、高性能的多軸系統(tǒng)，如：Z軸升降平臺(tái)(REI95LM-Z)、精密轉(zhuǎn)臺(tái)、角位移臺(tái)（測(cè)角儀）等；
REI130XY采用集成式一體化、低組高設(shè)計(jì)，擁有超過(guò)160*160mm的行程，平臺(tái)總高僅90mm。采用滑動(dòng)摩擦軸系，由REI130LM單軸產(chǎn)品衍生開(kāi)發(fā)而來(lái)。具有完整的硬限位和軟限位保護(hù)，綜合線(xiàn)纜管理系統(tǒng)和三種不同精度等級(jí)規(guī)格。
■ 超高的空間幾何精度
REI130XY允許對(duì)諸如正交誤差、直線(xiàn)度、平面度等關(guān)鍵指標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化，從而實(shí)現(xiàn)用戶(hù)特殊指定允許的公差范圍。該產(chǎn)品沒(méi)有背隙并且近乎零系統(tǒng)遲滯性，在整個(gè)二維空間運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)均可以保證精確定位和高重復(fù)性的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)性能。
■ 超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI130XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±150nm或者更好。
REI95XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
REI130XY采用非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、緊湊的空間尺寸使其在嚴(yán)苛的安裝空間中同樣可以獲得高性能。特別適合于光纖耦合制造、傳感器測(cè)試與掃描、顯微鏡應(yīng)用等各種需要平穩(wěn)、快速定位和精確的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合。
■ 多軸應(yīng)用
REI130XY可以結(jié)合其他的平臺(tái)產(chǎn)品快速創(chuàng)造出獨(dú)特、高性能的多軸系統(tǒng)，如：Z軸升降平臺(tái)(REI95LM-Z)、精密轉(zhuǎn)臺(tái)、角位移臺(tái)（測(cè)角儀）等；
Planar DS-XY系列是一款緊湊型、低組高，同時(shí)具有優(yōu)良幾何機(jī)械精度、高動(dòng)態(tài)性能的集成一體式XY平面運(yùn)動(dòng)納米定位平臺(tái)。該平臺(tái)具有納米級(jí)的雙向重復(fù)定位性能?？梢詮V泛應(yīng)用于表面輪廓測(cè)量和晶圓切割、光刻直寫(xiě)、激光微納加工等高端應(yīng)用領(lǐng)域。
■ 超高的空間幾何精度
Planar DS-XY二維直驅(qū)平臺(tái)的直線(xiàn)度、正交誤差等關(guān)鍵指標(biāo)具有多種規(guī)格可選同時(shí)對(duì)結(jié)構(gòu)剛性進(jìn)行了特殊的優(yōu)化以滿(mǎn)足苛刻的高動(dòng)態(tài)響應(yīng)要求，加速度最大可以達(dá)到1.5g，速度最快可達(dá)750mm/s。這使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力。該產(chǎn)品運(yùn)行平滑，速度波動(dòng)小，尤其適合于掃描應(yīng)用
■ 超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI95XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±200nm或者更好。
Planar DS-XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
Planar DS-XY二維平臺(tái)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。
Planar DS-200XY和Planar DS-300XY,每個(gè)軸均可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)或者兩個(gè)電機(jī)的配置，從而為各種不同負(fù)載的使用提供了更多的選擇。無(wú)論是單電機(jī)還是雙電機(jī)，其所產(chǎn)生的推力和摩擦力均保持在平臺(tái)的幾何中心，這樣的設(shè)計(jì)保證了平臺(tái)的性能。
■ 集成線(xiàn)纜管理
Planar DS-XY二維平臺(tái)擁有專(zhuān)為長(zhǎng)壽命和性能優(yōu)化而設(shè)計(jì)的電纜管理系統(tǒng)，可以非?？焖俚呐c其他平臺(tái)進(jìn)行組合使用。特殊的線(xiàn)纜管理方案還可以提供額外的氣路走線(xiàn)，同時(shí)不影響平臺(tái)的性能。
Planar DL-XY 集成一體式XY亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)，在低組高的緊湊幾何空間內(nèi)提供了大尺寸的通光孔徑，并具備高動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力。尤其適合于雙面LED晶圓缺陷檢測(cè)、高動(dòng)態(tài)性能下進(jìn)行準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)計(jì)量檢測(cè)以及需要極高運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度和運(yùn)動(dòng)平面度的應(yīng)用場(chǎng)合。該系列產(chǎn)品具有多個(gè)規(guī)格以及精度等級(jí)可選，最高可實(shí)現(xiàn)＜150nm(ISO230-2)雙向重復(fù)定位性能。
■出色的空間幾何精度
Planar DL-XY集成一體式亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)提供了極其出色的平面幾何性能。其具備優(yōu)于±0.5μm的運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度和優(yōu)于±1.25μm的空間運(yùn)動(dòng)平面度。高精度寬幅式滾動(dòng)摩擦軸系為平臺(tái)提供了出色的支撐剛性，低重心設(shè)計(jì)更加有利于提升結(jié)構(gòu)剛性。非接觸式雙邊同步驅(qū)動(dòng)消除了因大通光孔徑設(shè)計(jì)從而導(dǎo)致的機(jī)械扭曲變形，使平臺(tái)軸運(yùn)動(dòng)中心驅(qū)動(dòng)剛度在全行程范圍內(nèi)保持一致，從而實(shí)現(xiàn)終端負(fù)載出色的運(yùn)動(dòng)平面度性能。
■超高精度等級(jí)選項(xiàng)
多軸定位系統(tǒng)為了達(dá)到盡可能高的系統(tǒng)精度（特別是納米級(jí)精度），必須在嚴(yán)格的環(huán)境條件下，在機(jī)械系統(tǒng)完全組裝、功能測(cè)試完畢，使用特定檢測(cè)儀器通過(guò)對(duì)REI95XY平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)軌跡檢測(cè)，同時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)，經(jīng)校準(zhǔn)后可以保證二維運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到±200nm或者更好。
Planar DL-XY標(biāo)準(zhǔn)版本和超高精度版本的性能差異主要通過(guò)正交誤差進(jìn)行體現(xiàn)。經(jīng)校準(zhǔn)后的超高精度版本可以對(duì)直線(xiàn)度、正交誤差、偏航角誤差等帶來(lái)的精度誤差進(jìn)行部分修正消除，但并不意味著改變了原始的物理機(jī)械精度。
■非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
Planar DL-XY 二維平面亞微米精密直驅(qū)平臺(tái)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。
Planar DL-150XY和Planar DL-250XY,每個(gè)軸均配置為兩個(gè)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)且具有高伺服控制帶寬，所產(chǎn)生的推力和摩擦力均保持在平臺(tái)的幾何中心，這樣的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了平臺(tái)出色的機(jī)械幾何精度與動(dòng)態(tài)性能的有機(jī)結(jié)合。
■集成線(xiàn)纜管理
Planar DL-XY二維平臺(tái)擁有專(zhuān)為長(zhǎng)壽命和性能優(yōu)化而設(shè)計(jì)的電纜管理系統(tǒng)，可以非常方便的與其他平臺(tái)進(jìn)行組合使用。特殊的線(xiàn)纜管理方案可以提供額外的真空氣路走線(xiàn)。
■ 雙平衡零摩擦配重設(shè)計(jì)
SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)是速度、精度、系統(tǒng)分辨率、重復(fù)定位精度、可靠性、高剛性輕量化設(shè)計(jì)的最好結(jié)合，是SWI系列的衍生產(chǎn)品，該平臺(tái)表現(xiàn)出了與SWI系列同樣出色的運(yùn)動(dòng)性能，是專(zhuān)為Z向高精度、高剛性、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)應(yīng)用設(shè)計(jì)。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)采用零摩擦的雙重平衡機(jī)制，維持高性能的同時(shí)最大限度的減少電機(jī)發(fā)熱，平衡能力0-20kg用戶(hù)可調(diào)，雙平衡設(shè)計(jì)最大限度減少了平臺(tái)整體的高度和傾覆扭矩，同時(shí)減小直線(xiàn)度和角度偏擺對(duì)精度的影響。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)的應(yīng)用，使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力，從而使大規(guī)模生產(chǎn)成為可能。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)是先進(jìn)直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位性能的代表作品之一。非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、緊湊的空間尺寸使其在嚴(yán)苛的安裝空間中同樣可以獲得高性能。
■ 系統(tǒng)特性
極高的系統(tǒng)分辨率是出色的精度、重復(fù)定位精度、位置穩(wěn)定性的基礎(chǔ)。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)在直線(xiàn)電機(jī)Z軸應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了優(yōu)于30nm的最小增量運(yùn)動(dòng)，該系列平臺(tái)完全無(wú)背隙和近乎零系統(tǒng)遲滯性從而可以實(shí)現(xiàn)精確和高重復(fù)的亞微米運(yùn)動(dòng)。
■ 靈活、快速的系統(tǒng)組合
SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)具有標(biāo)準(zhǔn)化的安裝方式，便于系統(tǒng)集成。二軸、三軸或更多軸的應(yīng)用均可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)孔位靈活的進(jìn)行組裝搭配。靈活的設(shè)計(jì)非常便于多軸配置和應(yīng)用。
■ 雙平衡零摩擦配重設(shè)計(jì)
SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)是速度、精度、系統(tǒng)分辨率、重復(fù)定位精度、可靠性、高剛性輕量化設(shè)計(jì)的最好結(jié)合，是SWI系列的衍生產(chǎn)品，該平臺(tái)表現(xiàn)出了與SWI系列同樣出色的運(yùn)動(dòng)性能，是專(zhuān)為Z向高精度、高剛性、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)應(yīng)用設(shè)計(jì)。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)采用零摩擦的雙重平衡機(jī)制，維持高性能的同時(shí)最大限度的減少電機(jī)發(fā)熱，平衡能力0-20kg用戶(hù)可調(diào)，雙平衡設(shè)計(jì)最大限度減少了平臺(tái)整體的高度和傾覆扭矩，同時(shí)減小直線(xiàn)度和角度偏擺對(duì)精度的影響。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)的應(yīng)用，使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力，從而使大規(guī)模生產(chǎn)成為可能。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)是先進(jìn)直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位性能的代表作品之一。非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、緊湊的空間尺寸使其在嚴(yán)苛的安裝空間中同樣可以獲得高性能。
■ 系統(tǒng)特性
極高的系統(tǒng)分辨率是出色的精度、重復(fù)定位精度、位置穩(wěn)定性的基礎(chǔ)。SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)在直線(xiàn)電機(jī)Z軸應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了優(yōu)于30nm的最小增量運(yùn)動(dòng)，該系列平臺(tái)完全無(wú)背隙和近乎零系統(tǒng)遲滯性從而可以實(shí)現(xiàn)精確和高重復(fù)的亞微米運(yùn)動(dòng)。
■ 靈活、快速的系統(tǒng)組合
SWI_ZS系列雙平衡Z向精密直驅(qū)平臺(tái)具有標(biāo)準(zhǔn)化的安裝方式，便于系統(tǒng)集成。二軸、三軸或更多軸的應(yīng)用均可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)孔位靈活的進(jìn)行組裝搭配。靈活的設(shè)計(jì)非常便于多軸配置和應(yīng)用。
■ 出色的動(dòng)平衡機(jī)制
REI95Z納米定位平臺(tái)采用幾乎零摩擦的平衡機(jī)制，維持高性能的同時(shí)最大限度的減少電機(jī)的發(fā)熱。平衡能力從0到7Kg用戶(hù)可調(diào)。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)的應(yīng)用，使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力，從而使其大規(guī)模生產(chǎn)成為可能。REI95Z系列微動(dòng)納米定位平臺(tái)是先進(jìn)的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位性能的代表作品之一。非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、緊湊的空間尺寸使其在嚴(yán)苛的安裝空間中同樣可以獲得高性能。特別適合于光纖耦合制造、傳感器測(cè)試與掃描、顯微鏡應(yīng)用等各種需要平穩(wěn)、快速定位和精確的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合。
■ 靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
REI系列產(chǎn)品具有標(biāo)準(zhǔn)化的通用安裝方式，便于系統(tǒng)集成。二軸、三軸或更多軸的應(yīng)用均可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)孔位靈活的進(jìn)行組裝搭配。靈活的設(shè)計(jì)非常便于多軸配置和應(yīng)用。
■ 系統(tǒng)特性
極高的系統(tǒng)分辨率是出色的精度、重復(fù)定位精度、位置穩(wěn)定性的基礎(chǔ)。REI95Z Z向納米定位平臺(tái)在直線(xiàn)電機(jī)應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了優(yōu)于2nm的最小增量運(yùn)動(dòng)，該系列平臺(tái)完全無(wú)背隙和近乎零系統(tǒng)遲滯性從而可以實(shí)現(xiàn)精確和高重復(fù)的納米運(yùn)動(dòng)，以及極低速的平滑運(yùn)動(dòng)(＜10nm/s)。
REI130Z和REI130Z-Plus 單平衡Z向納米定位平臺(tái)是速度、精度、系統(tǒng)分辨率、重復(fù)定位精度、可靠性、緊湊尺寸的最好結(jié)合，作為REI系列產(chǎn)品的衍生產(chǎn)品，該平臺(tái)表現(xiàn)出了與REI130LM系列同樣的運(yùn)動(dòng)性能，是需要緊湊空間應(yīng)用的最佳Z軸選擇。
■ 出色的動(dòng)平衡機(jī)制
REI130Z納米定位平臺(tái)采用幾乎零摩擦的平衡機(jī)制，維持高性能的同時(shí)最大限度的減少電機(jī)的發(fā)熱。平衡能力從0到7Kg用戶(hù)可調(diào)。
■ 非接觸式直接驅(qū)動(dòng)
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)的應(yīng)用，使精密微加工和精密測(cè)量設(shè)備具備了可靠、穩(wěn)定、準(zhǔn)確而快速的定位能力，從而使其大規(guī)模生產(chǎn)成為可能。REI130Z系列微動(dòng)納米定位平臺(tái)是先進(jìn)的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位性能的代表作品之一。非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)具有高動(dòng)態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)、亞納米級(jí)分辨率、極低的速度波動(dòng)、高速高精度等特點(diǎn)。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、緊湊的空間尺寸使其在嚴(yán)苛的安裝空間中同樣可以獲得高性能。特別適合于光纖耦合制造、傳感器測(cè)試與掃描、顯微鏡應(yīng)用等各種需要平穩(wěn)、快速定位和精確的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合。
■ 靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
REI系列產(chǎn)品具有標(biāo)準(zhǔn)化的通用安裝方式，便于系統(tǒng)集成。二軸、三軸或更多軸的應(yīng)用均可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)孔位靈活的進(jìn)行組裝搭配。靈活的設(shè)計(jì)非常便于多軸配置和應(yīng)用。
■ 系統(tǒng)特性
極高的系統(tǒng)分辨率是出色的精度、重復(fù)定位精度、位置穩(wěn)定性的基礎(chǔ)。REI130Z Z向納米定位平臺(tái)在直線(xiàn)電機(jī)應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了優(yōu)于2nm的最小增量運(yùn)動(dòng)，該系列平臺(tái)完全無(wú)背隙和近乎零系統(tǒng)遲滯性從而可以實(shí)現(xiàn)精確和高重復(fù)的納米運(yùn)動(dòng)，以及極低速的平滑運(yùn)動(dòng)(＜10nm/s)。
■卓越的定位能力
MDRS100低組高精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■直接耦合的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)
MDRS100采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差。該精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供了超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美，而無(wú)需所有直流電機(jī)的固有維護(hù)要求，其低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■無(wú)刷驅(qū)動(dòng)
MDRS100精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)采用無(wú)刷直驅(qū)電機(jī)技術(shù)，最大限度地提高了定位性能和動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能。無(wú)需更換電刷，也無(wú)需維護(hù)輪系或皮帶。與齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相比，直接驅(qū)動(dòng)還提供更快的加速度和更高的響應(yīng)速度。
■緊湊的結(jié)構(gòu)
MDRS100精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)針對(duì)滑動(dòng)摩擦軸系與反饋系統(tǒng)進(jìn)行了特殊的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)高度最小化，降低了系統(tǒng)的有效工作高度，最大限度地減少了軸向誤差和軸擺誤差所帶來(lái)的阿貝誤差。除了整體高度較低外，MDRS系列產(chǎn)品還設(shè)計(jì)了標(biāo)準(zhǔn)的通光孔徑，可用于光束傳輸。
■卓越的定位能力
MDRS150低組高精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■直接耦合的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)
MDRS150采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差。該精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供了超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美，而無(wú)需所有直流電機(jī)的固有維護(hù)要求，其低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■無(wú)刷驅(qū)動(dòng)
MDRS150精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)采用無(wú)刷直驅(qū)電機(jī)技術(shù)，最大限度地提高了定位性能和動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能。無(wú)需更換電刷，也無(wú)需維護(hù)輪系或皮帶。與齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相比，直接驅(qū)動(dòng)還提供更快的加速度和更高的響應(yīng)速度。
■緊湊的結(jié)構(gòu)
MDRS150精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)針對(duì)滑動(dòng)摩擦軸系與反饋系統(tǒng)進(jìn)行了特殊的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)高度最小化，降低了系統(tǒng)的有效工作高度，最大限度地減少了軸向誤差和軸擺誤差所帶來(lái)的阿貝誤差。除了整體高度較低外，MDRS系列產(chǎn)品還設(shè)計(jì)了標(biāo)準(zhǔn)的通光孔徑，可用于光束傳輸。
■卓越的定位能力
MDRS200低組高精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■直接耦合的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)
MDRS200采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差。該精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供了超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美，而無(wú)需所有直流電機(jī)的固有維護(hù)要求，其低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■無(wú)刷驅(qū)動(dòng)
MDRS200精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)采用無(wú)刷直驅(qū)電機(jī)技術(shù)，最大限度地提高了定位性能和動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能。無(wú)需更換電刷，也無(wú)需維護(hù)輪系或皮帶。與齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相比，直接驅(qū)動(dòng)還提供更快的加速度和更高的響應(yīng)速度。
■緊湊的結(jié)構(gòu)
MDRS200精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)針對(duì)滑動(dòng)摩擦軸系與反饋系統(tǒng)進(jìn)行了特殊的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)高度最小化，降低了系統(tǒng)的有效工作高度，最大限度地減少了軸向誤差和軸擺誤差所帶來(lái)的阿貝誤差。除了整體高度較低外，MDRS系列產(chǎn)品還設(shè)計(jì)了標(biāo)準(zhǔn)的通光孔徑，可用于光束傳輸。
■卓越的定位能力
MDRT150高剛性精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)憑借高性能的無(wú)鐵芯力矩電機(jī)配合精密調(diào)校的角接觸滑動(dòng)摩擦軸系，為系統(tǒng)提供了高達(dá)0.02arc sec的控制分辨率。極小且趨于線(xiàn)性的滑動(dòng)摩擦阻力為系統(tǒng)的微步增量運(yùn)動(dòng)提供了保障，使其具有優(yōu)于±0.08arc sec的卓越位置定位能力(穩(wěn)態(tài)誤差)和優(yōu)于25ms的快速整定時(shí)間(穩(wěn)態(tài)時(shí)間)。
■出色的控制分辨率
MDRT150采用分體式無(wú)鐵芯力矩電機(jī)，降低了周期性的轉(zhuǎn)矩誤差。該精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)分辨率可達(dá)0.001″。超平滑的速度穩(wěn)定性，可與高質(zhì)量的直流有刷電機(jī)相媲美。低速性能優(yōu)異，即使以低于0.01°(36arcsec)/s的極低速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其位置跟隨誤差仍可優(yōu)于±0.5arc sec。
■無(wú)刷直驅(qū)
MDRT150精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)采用無(wú)刷直驅(qū)電機(jī)技術(shù)，最大限度地提高了定位性能和動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能。無(wú)需更換電刷，也無(wú)需維護(hù)輪系或皮帶。與齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相比，直接驅(qū)動(dòng)還提供更快的加速度和更高的響應(yīng)速度。
■出色的運(yùn)動(dòng)軸擺
MDRT150高承載精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)采用兩個(gè)大直徑角接觸軸承，獨(dú)特的大跨距設(shè)計(jì)極大地減小了運(yùn)動(dòng)軸擺，提高了系統(tǒng)剛度和重復(fù)性。同時(shí)大直徑軸承能夠承受更大的有效載荷，而不會(huì)影響性能。
■靈活的配置
MDRT150是一款具有集成“T型槽”的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)。這些槽可用于水平安裝工作臺(tái)或連接定制的應(yīng)用專(zhuān)用夾具。
CK3M高性能納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制器是OMRON基于Power UMAC高性能運(yùn)動(dòng)控制器研發(fā)的系統(tǒng)級(jí)多軸運(yùn)動(dòng)控制器，其可以根據(jù)應(yīng)用配置成定制化的控制系統(tǒng)。
CK3M具有50μs/5軸的伺服循環(huán)周期，憑借超高速反饋控制，在精密加工領(lǐng)域可實(shí)現(xiàn)高精度的輪廓軌跡控制。CK3M可以支持基于模擬指令(DAC、PFM/正交脈沖、直接PWM)的軸控制。能夠與高響應(yīng)性的音圈電機(jī)和精密的直線(xiàn)電機(jī)等各種電機(jī)相連接，進(jìn)行精確的定位控制和高動(dòng)態(tài)響應(yīng)控制。
支持幾乎所有反饋類(lèi)型，包括但不限于A(yíng)/B相信號(hào)、串行數(shù)據(jù)I/F，Sin/Cos，激光干涉儀等，采用C語(yǔ)言/Programmable Multi Axis Controller專(zhuān)用語(yǔ)言/G代碼等編程語(yǔ)言，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)靈活，可以根據(jù)實(shí)際需要搭建不同數(shù)學(xué)模型，支持自定義控制算法，包括但不限于五軸聯(lián)動(dòng)算法、六軸并聯(lián)算法、自定義PID算法等。
Power UMAC 運(yùn)動(dòng)控制器是Delta Tau(OMRON)研發(fā)的系統(tǒng)級(jí)多軸運(yùn)動(dòng)控制器，其可以根據(jù)應(yīng)用配置成定制化的控制系統(tǒng)，是一款擁有內(nèi)置I/O、電源以及完整封裝的專(zhuān)業(yè)運(yùn)動(dòng)控制器。
采用Ethernet 通訊方式與主計(jì)算機(jī)進(jìn)行通訊。3U 結(jié)構(gòu)的UMAC 控制器配線(xiàn)（RTB/DB）安裝十分簡(jiǎn)便，可根據(jù)應(yīng)用配置成一個(gè)具有高度靈活性的，功能強(qiáng)大的設(shè)備控制系統(tǒng)。
Delta Tau提供了豐富的附件以供選擇，如各種類(lèi)型的軸卡，數(shù)字I/O卡，模擬量輸入卡，通信接口，反饋接口和許多其他的附件。UMAC控制器最多可配置為256個(gè)軸。
Power UMAC具有極佳的控制性能，其獨(dú)特的控制算法和控制特性可以實(shí)現(xiàn)明顯區(qū)別于競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品的運(yùn)動(dòng)特性。結(jié)合高性能運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)1nm的最小增量運(yùn)動(dòng)、ms級(jí)的快速整定時(shí)間和極佳的位置跟隨能力。是超精密加工的理想選擇。
